原子吸收分光光度计的主要技术指标：
(1)波长示值误差(波长的准确度)与重复性
谱线的理论波长与仪器波长测定读数的差值称为波长示值误差。特定谱线波长的多次测定(一般用3次)中值与小值之差为波长重复性。检定规程要求：原子吸收分光光度计波长示值误差应不大于0．5nm，波长重复性应优于0．3nm。
(2)分辨率
原子吸收分光光度计的分辨率是鉴别仪器对共振吸收线与邻近的其它谱线分辨能力大小的一项重要技术指标。一般在规定的光谱通带下可用特定谱线的半宽度来衡量，也可通过观察是否实际可分辨某些元素的多条相邻的谱线。
(3)基线稳定性
基线稳定性是仪器的重要技术指标，它反映整机稳定性状况。基线稳定性分静态和动态两种。
(4)灵敏度
灵敏度为原子吸收分光光度计在单位浓度下获得的吸光度，亦即采用外标法定量分析中校准曲线的斜率。
(5)精密度(重复性)
精密度反映测量结果的重复性。相对标准偏差能较好地反映测量过程的精密度。因此，原子吸收分析的精密度是用相对标准偏差(RSD)来度量的。通常选取代表性元素在一定浓度水平下多次测定值的相对标准偏差为重复性。检定规程规定：对于使用中的火焰原子吸收仪器，精密度不大于1．5％；对于石墨炉原子吸收来说，使用中的仪器的精密度不大于7％。
(6)检出限
检出限是原子吸收分光光度计重要的技术指标。它只反映了在测量中的总噪声电平大小，是与仪器灵敏度和稳定性有关的综合性指标。检出限意味着仪器所能检出元素的浓度。
